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2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω技術(shù)解析

  • 發(fā)布日期:2021-09-28      瀏覽次數(shù):1315
    • 2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω技術(shù)解析

      該裝置是目前世界上唯yi使用2ω法測(cè)量納米薄膜厚度方向熱導(dǎo)率的商用裝置。與其他方法相比,樣品制作和測(cè)量更容易。

      • 量化低K絕緣膜的熱阻,用于半導(dǎo)體器件的熱設(shè)計(jì)

      • 絕緣膜的開(kāi)發(fā)與散熱的改善

      • 熱電薄膜應(yīng)用評(píng)價(jià)

      特征

      • 可以測(cè)量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的熱導(dǎo)率。

      • 使用熱反射法通過(guò)溫度幅度檢測(cè)實(shí)現(xiàn)測(cè)量

      • 測(cè)量樣品的簡(jiǎn)單預(yù)處理

      規(guī)格

      測(cè)量溫度轉(zhuǎn)播時(shí)間
      樣品尺寸寬度 10 毫米 x 長(zhǎng)度 10 至 20 毫米 x 厚度 0.3 至 1 毫米(板)
      測(cè)量氣氛在真空中



    聯(lián)系方式
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