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更新日期:2024-03-19
簡(jiǎn)要描述:
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC系列SC-701MkⅡ直流濺射類別中系列中z小的超緊湊機(jī)型配備皮拉尼真空計(jì),以確保成膜條件的可重復(fù)性配備手動(dòng)百葉窗作為標(biāo)準(zhǔn)裝備
品牌 | 其他品牌 |
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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC系列SC-701MkⅡ
特征
直流濺射類別中系列中z小的超緊湊機(jī)型
配備皮拉尼真空計(jì),以確保成膜條件的可重復(fù)性
配備手動(dòng)百葉窗作為標(biāo)準(zhǔn)裝備
使用專yong的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松更改TS之間的距離。
由于可以涂鎢,因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品。
應(yīng)用/結(jié)果示例
各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等的應(yīng)用?
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC系列SC-701MkⅡ
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸直流磁控管/平板型電極 |
適用對(duì)象 | 金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁 |
壓力測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì) |
壓力控制 | 針閥手動(dòng)控制 引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝 |
工藝氣體 | 氬氣 |
真空泵 | 直聯(lián)式旋轉(zhuǎn)泵:20L / min(帶自動(dòng)泄漏) |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ90×D90mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 機(jī)身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm |
重量 | 身體:9公斤RP:9公斤 |