日本nanophoton帶晶圓載物臺(tái)的拉曼顯微鏡 RAMANdrive

RAMANdrive 是一款專用于半導(dǎo)體分析的拉曼顯微鏡，配備 300 毫米晶圓載物臺(tái)。
載物臺(tái)可以準(zhǔn)確平穩(wěn)地移動(dòng)到晶圓上所需的位置，實(shí)現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。

配備專有的 300mm 晶圓載物臺(tái)

配備專用載物臺(tái)，最大可放置300mm的大直徑晶圓。真空吸附機(jī)構(gòu)使晶圓保持水平并將其牢固地固定在平臺(tái)上。由于載物臺(tái)具有較寬的可移動(dòng)范圍，因此可以在視野中心從晶圓邊緣到邊緣的任何位置進(jìn)行捕捉和測(cè)量。晶圓以外的高樣品可以放置在平臺(tái)中央的凹槽中。

用于快速可靠地捕獲測(cè)量目標(biāo)的載物臺(tái)導(dǎo)航

高性能拉曼光譜成像

為了顯著提高拉曼圖像的采集速度，我們開發(fā)了一種的線照明技術(shù)，將激光束拉伸成一條線并照射到樣品上。從樣品上的線形照明區(qū)域同時(shí)檢測(cè)到 400 個(gè)拉曼光譜。此外，通過(guò)安裝高精度掃描鏡，實(shí)現(xiàn)了激光束掃描成像。規(guī)定分析區(qū)域后，無(wú)需移動(dòng)載物臺(tái)，只需幾分鐘即可獲得超過(guò) 100,000 像素的高清拉曼圖像。

RAMANdrive 配備高質(zhì)量的共焦光學(xué)器件，在所有 XYZ 方向上擁有最高的空間分辨率。這種高分辨率還有助于顯著提高 100 nm 或更小的微粒的檢測(cè)靈敏度。出色的光譜分辨率和峰值定位精度能夠?qū)?yīng)力和多型進(jìn)行高度準(zhǔn)確的分析。

識(shí)別 100 nm 或更小的微小異物

空間分辨率顯著提高了對(duì)小于光斑尺寸的顆粒的檢測(cè)靈敏度。選配的高品質(zhì)暗場(chǎng)觀察功能可清晰確認(rèn)100nm以下微小異物的位置，高精度激光束掃描將激光束準(zhǔn)確照射到異物中心?？梢垣@得具有高信噪比的拉曼光譜，從而可以高精度地識(shí)別污染物。

3D 拉曼成像以可視化應(yīng)力分布

RAMANdrive 配備高性能共焦光學(xué)器件，可對(duì) SiC、GaN 和金剛石等透明樣品進(jìn)行深度成像。通過(guò)斷層拉曼成像獲得的 SiC 晶片中應(yīng)力分布的數(shù)據(jù)表明，研磨劃痕引起的應(yīng)力通過(guò)拋光得到了降低。

日本nanophoton帶晶圓載物臺(tái)的拉曼顯微鏡 RAMANdrive

規(guī)格

主要業(yè)績(jī)

主要規(guī)格

車身尺寸和重量