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更新日期：2024-03-23
簡要描述：
yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備L20系列L20系列專為高壓半導體工藝制造氣體而設計，基本結構為外部金屬密封和焊接接頭，是一種具有優(yōu)異外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。 此外，還提供多種選項來處理各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備L20系列
功能
高壓
焊接金屬墊片配件
調(diào)節(jié)閥結構
針型
兼容氣體
7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體
除外
標準流量
~60噸/分鐘
yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備L20系列
特點
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.99MPa（量程規(guī)格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa ） |
| 原始壓力的波動 | 進口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化0.00021MPa |
| 耐壓壓力 | 22.2MPa （入口側(cè)） |
| 簡歷值 | 0.09 |
| 工作溫度 | -10~+40°C |
| 外部泄漏 | 1×10-11Pa?m3/s?He （真空方式） |
| 內(nèi)部容積 | 4.67厘米（不包括3個壓力表和配件） |
| 質(zhì)量 | 約1.29公斤 |
| 安裝方式 | 使用前面板安裝螺母或后螺釘進行安裝（見外觀） |
L20系列專為高壓半導體工藝制造氣體而設計，基本結構為外部金屬密封和焊接接頭，是一種具有優(yōu)異外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。 此外，還提供多種選項來處理各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
