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更新日期：2024-03-24
簡要描述：
lintec以太網(wǎng)CAT質量流量控制器MC-5000C用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規(guī)的，可以通過EtherCAT通信進行控制，EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統(tǒng)。
| 品牌 | 其他品牌 | 類型 | 超聲波 |
|---|---|---|---|
| 測量范圍 | 1m3/h |
lintec以太網(wǎng)CAT質量流量控制器MC-5000C
用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。
用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規(guī)的，可以通過EtherCAT通信進行控制，EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統(tǒng)。
半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環(huán)境溫度補償流量傳感器作為標準安裝，并且可以作為液化氣支架等選項添加。
準確度±1%SP
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度保證傳感器
EtherCAT通信
微流 F.S.
兼容液化氣
寬
越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通信（數(shù)字I / F），用于高速控制機械臂等運輸系統(tǒng)。 EtherCAT通信有65，536個節(jié)點，MFC的所有測量系統(tǒng)和運動系統(tǒng)元件都可以與EtherCAT通信統(tǒng)一。
lintec以太網(wǎng)CAT質量流量控制器MC-5000C
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標準 | 最高 F.S. | sdaM |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 10SCCM | 300SLM | 金 |
* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。
